アルミニウム-チタンターゲットの基本特性
アルミニウム-チタンのターゲットの形状: 平らなターゲット、特殊な形状のターゲット-
の純度アルミニウム-チタンのターゲット: 2N5, 3N
アルミニウム-チタンのターゲットのサイズ: 図面に従って加工、または他社でカスタマイズ
アルミニウム-合金のシート、プレート、ロッドも提供できます。
アルミニウム-チタン合金ターゲットの製造プロセス
アルミニウム粉末とチタン粉末を特定の割合（原子比50-70:30-50）で混合します。混合方法は、機械的混合、真空混合、または不活性保護ガス混合であり、混合時間はアルミニウム−チタン粉末混合物を得るために３０分以上である。
アルミニウム-チタン混合粉末を金属スリーブに入れ、スリーブの外周を振動させたり叩いたりすることで充填粉末を緻密にします。金属シースのエンドキャップと排気管を溶接した後、金属シースを加熱炉に入れ、排気管を真空ユニットに接続し、排気を加熱します。排気温度は350～600度です。真空度が1.5×10-3paに達するまで温度を保持した後、排気管を平らにして密閉する。
排気された金属シースは、熱間静水圧プレス焼結のために熱間静水圧プレス装置に配置されます。熱間静水圧プレスの温度は600-880度、圧力は150MPaです。アルミニウム-チタンターゲットシースを得るために、保温および圧力維持は5時間です。
熱間静水圧プレス後、アルミニウム-チタンのターゲット材料を回転させて外側のシースを除去した後、目的の形状に加工できます。
このプロセスで製造されたアルミニウム-チタンのターゲット材料は、優れたスパッタリング コーティング効果を持ち、フィルム層は割れたり剥がれたりしにくく、フィルム ベースの結合が強いため、工具や装飾めっきのメーカーの実際のニーズを満たします。
アルミニウム-チタン合金ターゲットの応用
装飾塗料：主に携帯電話、時計、メガネ、衛生陶器、金物部品などの表面塗装に使用され、色を美しくするだけでなく、耐摩耗性、耐食性などの機能も備えています。
低-放射線コーティングされたガラス: マグネトロン スパッタリングの原理を使用してガラス上に複数の薄膜をスパッタリングし、省エネ、光制御、装飾を実現します。
工具および金型のコーティング: 工具および金型の表面強化に使用され、工具および金型の寿命と加工部品の品質を大幅に向上させることができます。
太陽電池コーティング: スパッタリング コーティング プロセスは、太陽電池を製造するための好ましい準備方法です。
