ニッケル-コバルト-クロム合金ターゲットは、主にニッケル、コバルト、クロムで構成されており、溶解や鋳造などの技術によって得られる平面または回転ターゲットです。これらの合金は、半導体産業、磁気記録、光学、航空宇宙工学など、さまざまな用途に使用されています。
ニッケル-コバルト-クロム合金ターゲットの製造方法
溶解と鋳造。特定量の高純度ニッケル、コバルト、クロムは、高周波溶解を使用して真空中で溶解されます。{1}次に、合金溶融金属がグラファイトまたは金型に鋳造され、合金インゴットが形成されます。
塑性加工：熱間鍛造と熱間圧延、その後の冷間圧延のプロセスを通じて微細構造を微細化します。
アニーリング: 材料は、真空またはアルゴン保護下で加熱および保持され、塑性加工中に発生する内部応力を除去し、結晶粒度を調整します。
機械加工: 熱処理されたブランクは、旋削、フライス削り、平削りなどを使用して最終寸法近くまで機械加工されます。{0}
ニッケル-コバルト-クロム合金ターゲットの用途
半導体製造では、半導体デバイスの導電層とバリア層を準備するために使用できます。
磁気記録技術の分野では、ハードディスクドライブの磁気記録膜の製造に使用できます。
航空宇宙分野では、航空機エンジン部品などの保護コーティングの製造に使用できます。
エネルギー機器産業では、ガス タービン ブレードなどの高温部品の保護コーティングに使用できます。{0}
