今日、直径0。15mmタングステンワイヤを日本の顧客にエクスポートし、半導体アプリケーションに使用しました。ウェーハにCVD堆積を行う。半導体ウェーハの場合、CVD（化学蒸気堆積）は非常に重要なプロセスの1つです。炉内の多くのガスで加熱。このワイヤは、ウエハーのヒーターとジグとして使用されます。
タングステンワイヤーは、99.95％に達する可能性のある高純度のタングステン材料で作られています。一般に、当社のタングステンワイヤは、照明、電子チューブ、電極、高温炉部品、プローブピンのフィラメントとして使用されます。顧客は、さまざまなアプリケーションのさまざまなワイヤの直径、材料、仕上げ方法からワイヤーを選択できます。また、統合された生産と厳密に制御された原材料とプロセスにより、世界最高レベルの高純度のタングステンワイヤーを提供しています。
タングステンワイヤは、切断、プロービング、薄膜の一部として、さまざまな目的で半導体ウェーハ製造で使用されます。その高い融点、硬度、および良好な電気伝導率により、これらのアプリケーションに適しています。
半導体ウェーハ製造におけるタングステンワイヤの適用：
- ウェーハを切る
タングステンワイヤは、特にダイヤモンドでコーティングされている場合、太陽光発電業界のシリコンウェーハを切断するために使用されます。寿命が長く、直径が小さく、精度など、炭素鋼線よりも利点があります。
- ウェーハの調査
タングステンワイヤは、ウェーハで半導体デバイスをテストするためのプローブ針として使用されます。その剛性、スプリングバックの欠如、およびより小さな直径で特性を維持する能力は、この目的に最適です。
- 薄膜の堆積
タングステンは、シリコンウェーハに薄膜として堆積することができ、電気伝導率、バリア特性、エッチング停止機能を提供することができます。
- 電極と鉛製造
タングステンは、半導体デバイス内の電極、リード、およびその他の小さなコンポーネントの作成に使用され、パフォーマンスと信頼性を確保します。
- イオン移植
タングステン電極は、半導体製造プロセス中にイオンをシリコンウェーハ表面に注入するイオン着床システムで使用されます。
- マスク
タングステンを使用してマスクを作成できます。マスクは、シリコンウェーハに望ましいパターンを作成するために使用される薄膜です。
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