純粋なチタンスパッタリングターゲット
純粋なチタンスパッタリングターゲットは、純粋なチタンから99.5％から99.9999％の純度で作られています。現在、4-メガビットVLSIの場合、4N5（99.995％）〜5N（99.999％）に到達するにはチタンの純度が必要ですが、16-メガビットの第3世代VLSIはチタニウムの純度を必要とします（99.999％）。
また、高純度99.9999％、貴金属ターゲット（AU、AG、PT）、ターゲットボンディングサービス、るつぼライナー（銅、モリブデン、タングステンなど）に金属ターゲットと蒸発材料を提供します。
純粋なチタンスパッタリングターゲットは、優れた大気腐食抵抗を備えており、大気中での長期使用後に色を変えることはなく、チタンの元の色を確保します。したがって、高純度のチタンは、建物の装飾材料としても使用できます。
さらに、近年、ブレスレット、時計、スペクタクルフレームなどのハイエンドの装飾といくつかの着用物品は、腐食抵抗、変色、良好な光沢の長期的な維持、および人間の皮膚との接触における非感作の特性を利用するチタンで作られています。いくつかの装飾で使用されているチタンの純度は5nレベルに達しました。
純粋なチタンスパッタリングターゲットの仕様
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学年 |
グレード1、グレード2 |
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技術 |
焼結、鍛造、アニーリング、ローリング、真空融解、加工 |
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純度 |
99.9%-99.995% |
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直径 |
カスタマイズ |
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厚さ |
カスタマイズ |
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バーのサイズ |
Rectangle (Length 1800mm, Width 400mm Thickness>1mm） |
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チューブのサイズ |
チューブ（ローターターゲット、OD：20mm -160 mm、厚さ：2-20 mm） |
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密度 |
4.5g\/cm3 |
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表面 |
磨かれた、明るい化学洗浄、黒い酸化物など。 |
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形 |
ディスク、プレート、長方形、正方形、列ターゲット、 |
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標準 |
ASTM B385、GB、JIS |
純粋なチタンスパッタリングターゲットの写真
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