チタンアルミニウムスパッタリングターゲット

Yitech は、高度な熱間静水圧プレスプロセスによってチタンアルミニウムスパッタリングターゲットを製造しています。これらは、ハードウェアツールのコーティング、装飾コーティング、半導体コンポーネント、フラットディスプレイのコーティングによく使用されます。

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製品の説明

Yitech は、高度な熱間静水圧プレスプロセスによってチタンアルミニウムスパッタリングターゲットを製造しています。これらは、ハードウェアツールのコーティング、装飾コーティング、半導体コンポーネント、フラットディスプレイのコーティングによく使用されます。この用途の理由は、高い延性 (長寿命)、高い熱伝導性、および均質な微細構造です。

チタンアルミニウムスパッタリングターゲット情報

純度: 99.5-99.9%;
円形: 直径<= 1500 mm x 500 mm;
ロータリー: 長さ<=2000 mm, Thickness: <=15 mm;
ターゲットタイプ: 平面スパッタリングターゲット、回転スパッタリングターゲット。

チタンアルミニウムスパッタリングターゲット分析

チタンアルミニウムスパッタリングターゲット	プロパティ	プロパティ	プロパティ
組成（％）	チタン	チタン50Al50	チタン70Al30
純度	99.80%	99.80%	99.80%
密度 g/cm³	3.29	3.6	3.95
粒度（um）	100以下	100以下	100以下
熱伝導率 (W/mk)	98	70	40
熱膨張係数 (K)	1.9 x 10-5	1.75 x 10-5	1.35 x 10-5