製品の説明
イオン注入は現代の IC 製造において非常に重要な技術であり、イオン注入装置を使用して半導体をドーピングします。つまり、タングステン トリウム ワイヤを陰極として使用して電子を放出し、特定の不純物元素を含むガス分子を衝突させます。その結果、イオン化された特定の不純物原子が静電場によって加速され、シリコン単結晶ウェハの表面と半導体に注入され、導電特性が変化し、最終的にトランジスタ構造が形成されます。イオン注入装置は、ガス システム、真空システム、モーター システム、制御システム、およびビームライン システムで構成されています。
ビームラインシステムには、イオン源、抽出電極、質量分析計、バックエンド加速器、電荷中和システム、ウェーハハンドラー、ビームブロッカーが含まれます。厚い（2〜45 mm）タングステン板で作られたタングステンデバイスは、主に半導体イオン注入装置のイオン源システムで電離線を閉じ込めて遮蔽するために使用され、イオン源システムの重要なコンポーネントです。
特徴
モリブデン導波管の純度は 99.95% 以上です。
密度は10.2g/cm³以上です。
精密に機械加工され、表面粗さが優れています。
モリブデン導波管は耐摩耗性に優れています。
アプリケーション業界
半導体材料産業
海運業
光学および光電子産業
航空宇宙産業
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