ニッケル-クロム-アルミニウム合金スパッタリングターゲット

Dec 15, 2025 伝言を残す

ニッケル-クロム-アルミニウム合金は、高温安定性、耐酸化性、優れたスパッタリング性能を備えた機能性ターゲット材料の一種です。-これらは、高温保護コーティング、耐摩耗性コーティング、半導体薄膜、センサー電極の製造に広く使用されています。-製造の中心的な要件には、組成の均一性、高密度(理論密度の 98% 以上)、細粒微細構造、低不純物含有量(O、C、N など。500 ppm 以下)が含まれ、スパッタリング プロセス中に安定した膜組成と均一な堆積速度を確保します。

 

ニッケル-クロム-アルミニウム合金スパッタリングターゲットの調製方法


プレ-プレス: 混合粉末をグラファイト金型に入れ、ホットプレス炉でプリフォームを形成します。
3 段階のホットプレスと焼結:-
第 1 段階: 脱ガスと初期焼結の完了。
第二段階:合金化の促進。
第 3 段階: 完全な緻密化 (相対密度 > 99%) と結晶粒の微細化を達成し、理論密度に近いインゴットを形成します。

 

ニッケル-クロム-アルミニウム合金スパッタリング ターゲットの使用例

 

航空宇宙産業: 航空機エンジンの遮熱コーティングやタービンブレードやその他のエンジンコンポーネントの保護コーティングとして接着すると、コンポーネントの熱腐食耐性が向上し、耐用年数が延長されました。
エネルギー機器産業: ガスタービンブレードおよびその他の核防護機器コンポーネントの保護コーティング。原子力発電所の火力ボイラーにも保護コーティングが施されています。高温環境でも機器の安定した動作を保証します。-
エレクトロニクス産業: 高い抵抗率と安定した物理的および化学的特性を利用して、電子部品の性能要件を満たす抵抗薄膜、電子部品の保護層などの製造に使用できます。
産業機器の製造: 熱処理炉のローラーの保護コーティング、化学反応器の耐熱ライニング、ガラス金型の表面強化などとして使用でき、産業機器の耐摩耗性と耐食性を向上させます。{0}
装飾分野:宝飾品、時計、携帯電話などの表面処理に使用され、保護しながら美しい装飾被膜を形成します。

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