ニッケル-コバルト-鉄合金のスパッタリング ターゲットには、特定の割合のニッケル (Ni)、コバルト (Co)、鉄 (Fe) が含まれています。これらの合金は、平面または回転スパッタリング ターゲットに製造され、半導体、太陽光発電、精密光学、および機能性コーティング産業で使用されます。これらの合金の調製は特殊であり、均一な化学組成、固体状態の密度、均一な粒状化、および表面の品質を達成するために細部に注意を払う必要があります。{4}
ニッケル-コバルト-鉄合金スパッタリングターゲットの調製方法
原料溶解：高純度のニッケル、コバルト、鉄のブロックを秤量し、真空誘導溶解炉に投入します。材料は真空下で完全に溶融するまで加熱され、組成の分離を防ぐために撹拌されます。
鋳造と成形: 溶融したニッケルコバルト鉄合金をグラファイト型に注ぎ、合金化ビレットを得て粗大粒子の形成を防ぐために急冷します。
鍛造と圧延: 合金は高温での鍛造と熱間圧延のプロセスを経て、鋳造組織が破壊されます。{0}
機械加工と接合: ニッケル-コバルト-鉄合金材料を鋸で切断し、形状に合わせて合成します。-
ニッケル-コバルト-鉄合金スパッタリング ターゲットの用途
集積回路では、Cu 拡散バリア層、Ta/CoFe 二重層電極、磁気トンネル接合 (MTJ) 自由層に使用されます。
薄膜太陽電池。-裏面電極またはバッファ層として機能し、オーム接触と耐候性を強化します。
MEMS およびセンサーでは、低損失インダクタ、磁気シールド層、マイクロ磁気アクチュエータの製造に使用されます。{0}{1}
表面機能コーティング。自動車部品、航空宇宙用ファスナー、生物医学インプラントなどの耐摩耗性、耐腐食性、装飾用コーティングとして使用されます。{0}{0}{1}
