ニッケル-クロム-アルミニウム-鉄合金スパッタリング ターゲットは、主にニッケル、クロム、アルミニウム、鉄を含むニッケル-ベースの多成分合金スパッタリング ターゲットです。これらは、機能性薄膜の製造のための物理蒸着 (PVD) で使用されます。この合金のターゲットは、航空宇宙、エネルギー機器、電子デバイス、工業用保護コーティングの分野で求められる高温安定性、耐酸化性、耐食性、優れたスパッタリング性能を備えています。
ニッケル-クロム-アルミニウム-鉄合金スパッタリング ターゲットの製造プロセス
原材料の準備: 高純度 (99.95% 以上) の Fe、Al、Cr、Ni を選択し、合金組成用に設計された指定の比率に従って重量を量ります (例: Ni:Cr:Al:Fe=74:20:3:3、他の成分に応じて変更可能)。アルミニウムの保護は、最後に適用すると酸化から保護するためにも使用できます。
真空誘導溶解: 装入材料を真空誘導炉に入れ、装入材料を完全に溶解するのに十分な高い目標温度まで加熱します。完全な合金化を促進するために、溶湯はこの温度で温度平衡化されます。炉はアルゴンでパージされ、保護用不活性ガスで再充填されます。この溶解および合金化のステップでは、保護ガス雰囲気を利用して、均一な微細構造および組成的に合金化された溶融物の取得を促進します。
鋳造と均質化アニーリング: 溶解物を事前に設計された型に流し込み、冷却してインゴットを形成します。{0}冷却後、組成偏析や鋳造応力を除去するために均質化焼鈍が行われます。
熱間加工と仕上げ: インゴットは鍛造、熱間圧延され、目標の厚さにまで薄くされます。{0}その後、固溶化・焼鈍処理を行った後、表面粗さRa1.6μm以下の最終目標寸法まで機械加工を行います。
ニッケル-クロム-アルミニウム-鉄合金スパッタリングターゲットの用途
1. 遮熱コーティング、接着層、高温部品の保護コーティング、原子力-保護コーティング、ガス タービン ブレード、発電所ボイラー パイプ、航空エンジン部品（タービン ブレード、燃焼室、ホットエンド部品）-に使用される、高温熱腐食と酸化に対する保護を提供します。-
2. 保護コーティングと高温ガス タービン、原子力装置、航空エンジン、高温燃焼室、保護コーティングとガス タービン ブレード、発電所のブースター、遮熱燃焼モジュールのオーバーレイに使用されます。
3. 工業用保護コーティングおよび装飾コーティング（摩耗および腐食保護コーティング、装飾めっき、装飾携帯電話の保護コーティング、保護コーティングジュエリー、保護コーティング装飾時計、装飾めっき保護ジュエリー携帯電話、時計、めっき装飾保護電話、ジュエリー、時計、保護装飾コーティングモバイル、ジュエリー、時計、装飾保護コーティング保護、装飾、モバイル、ジュエリー、時計を含む）保護摩耗および装飾めっきを提供するコーティング、モバイル保護ジュエリーウォッチ、サーマルバリアコーティング、モバイルジュエリーウォッチ。
