アルミニウム（Al）スパッタリングターゲット

アルミニウムスパッタリングターゲットは、金属アルミニウムと同じ機能を持っています。アルミニウムは、記号 Al、原子番号 13 の化学元素です。ホウ素族に属する銀白色で柔らかく、非磁性で延性のある金属です。アルミニウムは、その低密度と不動態化現象による耐腐食性が特徴です。

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製品の説明

アルミニウムスパッタリングターゲットは、金属アルミニウムと同じ機能を持っています。アルミニウムは、記号Al、原子番号13の化学元素です。ホウ素グループの銀白色で柔らかく、非磁性で延性のある金属です。アルミニウムは、その低密度と不動態化現象による耐腐食性が特徴です。アルミニウムとその合金は、航空宇宙産業に不可欠であり、建物のファサードや窓枠などの輸送および建築産業でも重要です。3N8-4N8純アルミニウムは、電解コンデンサーのアルミ箔、照明器具、データストレージの巻き取りに使用されます。5N-6N超純アルミニウムは、半導体デバイスの製造、光電子ストレージメディアの製造、超伝導ケーブル安定化材料、およびスペースシャトルの科学研究に使用されます。

弊社が製造するスパッタリングターゲットは高純度で、最も重要な利点は、フィルムが優れた電気伝導性を備え、PVD プロセス中に粒子形成が最小限に抑えられることです。以下のフォームは、弊社のアルミニウムスパッタリングターゲットの典型的な分析証明書です。高純度で、最も重要な利点は、フィルムが優れた電気伝導性を備え、PVD プロセス中に粒子形成が最小限に抑えられることです。

アルミニウムスパッタリングターゲットの製造工程

材料準備ゾーン、精錬、化学分析、鍛造、圧延、焼鈍、金属組織検査、機械加工、寸法検査、洗浄、最終検査、梱包

アルミニウムスパッタリングターゲットおよびその製造方法

アルミニウムは、ボーキサイトからAl2O3を抽出し、溶融氷晶石で電気分解することによって得られます。純度は一般に99％以上です。ただし、このような純度のアルミニウムは、アルミニウムターゲットの製造原料として使用できません。まず第一に、そして最も重要な要件は高純度です。アルミニウムターゲットに使用される高純度アルミニウムは、偏析、三層電解、または複合ゾーン製錬によって生産されます。価格は工業用純アルミニウム99.7％よりも高価であり、中国で最高の純度は約99.9999％（6N）です。高純度アルミニウムインゴットを原料とし、原料の鍛造、圧延、熱処理により、アルミニウムインゴットの粒子を小さくし、密度を高めて、スパッタリング用アルミニウムターゲットの要件を満たすことができます。変形後の高純度アルミニウム材料は、機械加工によって加工されます。アルミニウムターゲットの加工には高精度と高表面品質が求められ、真空コーティング機で必要なターゲットサイズに加工することができます。