エルビウム（Er）スパッタリングターゲット

エルビウムはランタノイド系列の化学元素で、記号は Er、原子番号は 68 です。人工的に単離された銀白色の固体金属であるエルビウムは、地球上では常に他の元素と化学的に結合した状態で見つかります。

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これは、スウェーデンのイッテルビー産の鉱物ガドリナイトに含まれる他のいくつかの希少元素と関連する希土類元素であり、イットリウム、イッテルビウム、テルビウムもイッテルビーにちなんで命名されました。

エルビウムスパッタリングターゲットは、高純度のエルビウム（Er）金属で作られた銀金属ターゲットです。融点は1529度、沸点は2863度、密度は9.06g/cm3です。純粋なエルビウム金属は展性があり（簡単に成形でき）、空気中では柔らかく安定しており、他の希土類金属ほど急速に酸化しません。