製品の説明
ルテニウム スパッタリング ターゲットは、高純度のルテニウムで構成された灰色のターゲットです。ルテニウムは、記号 Ru、原子番号 44 の化学元素です。周期表の白金族に属する希少な遷移金属です。白金族の他の金属と同様に、ルテニウムは他のほとんどの化学物質に対して不活性です。ルテニウムは通常、白金鉱石の微量成分として見つかります。ほとんどのルテニウム製品は、耐摩耗性電気接点や厚膜抵抗器に使用されます。
ルテニウムスパッタリングターゲットは、垂直磁気記録多層膜構造における重要な中間膜であるRu薄膜の堆積に使用され、磁気記録媒体において主に上下層間の格子不整合応力を低減し、熱安定性を高め、ノイズを低減する役割を果たします。
ルテニウムおよびルテニウム合金薄膜は機能性フィルムとして、磁気記録ストレージや半導体産業で広く使用されています。
ルテニウム（Ru）の仕様
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材料の種類 |
ルテニウム |
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シンボル |
ル |
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原子量 |
101.07 |
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原子番号 |
44 |
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色/外観 |
シルバーホワイトメタリック |
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熱伝導率 |
120 W/m.K |
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融点（度） |
2,310 |
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熱膨張係数 |
6.4 x 10-6/K |
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