PVDコーティング材

• セレン（Se）スパッタリングターゲット

  セレンは非金属化学元素で、周期表の XVI 族に属します。化学活性と物理的特性は硫黄やテルルに似ています。セレン金属は暗闇よりも明るい場所で電気をよく伝導するため、光電池に使用されます。

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• シリコン（Si）スパッタリングターゲット

  多結晶シリコンは、ポリシリコンまたはポリSiとも呼ばれ、高純度の多結晶シリコンであり、太陽光発電および電子産業で原材料として使用されます。ポリシリコンは、シーメンス法と呼ばれる化学精製プロセスによって冶金グレードのシリコンから製造されます。

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• スズ（Sn）スパッタリングターゲット

  チタンスパッタリングターゲットはチタン金属で作られています。金属として、チタンは高い強度対重量比で知られています。密度が低く、非常に延性があり（特に無酸素環境で）、光沢があり、金属白色の強い金属です。

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• チタン（Ti）スパッタリングターゲット

  チタンスパッタリングターゲットはチタン金属で作られています。金属として、チタンは高い強度対重量比で知られています。密度が低く、非常に延性があり（特に無酸素環境で）、光沢があり、金属白色の強い金属です。

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• タングステン（W）スパッタリングターゲット

  タングステンスパッタリングターゲットは、高純度のタングステン金属で作られていますが、これは通常、壊れやすく、加工が難しいものです。タングステンを非常に純粋な材料にすると、硬度（多くの鋼鉄よりも高い）を維持でき、加工しやすいほどの延性があります。タングステン加工は、鍛造、延伸、押し出しによって行われます。タングステン物体も、通常は焼結によって形成されます。

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• バナジウム（V）スパッタリングターゲット

  バナジウム スパッタリング ターゲットは、そのソース材料と同じ特性を持っています。バナジウムは、記号 V、原子番号 23 の化学元素です。硬く、銀灰色で、延性と展性のある遷移金属です。

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• 鉄（Fe）スパッタリングターゲット

  鉄は世界で最も一般的に使用されている金属です。鉄は金属灰色で、延性があり、強磁性があり、酸素にさらされると簡単に錆びます。鉄の融点は 1,535 度、密度は 7.86 g/cc、蒸気圧は 1,180 度で 10-4 Torr です。

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• イッテルビウム（Yb）スパッタリングターゲット

  イッテルビウムスパッタリングターゲットは、高純度のイッテルビウム（Yb）金属で作られた金属ターゲットです。融点は824度、沸点は1193度、密度は6.965g/cm3です。

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• イットリウム（Y）スパッタリングターゲット

  イットリウムは、化学記号が Y、原子番号が 39 で、最初に発見された希土類金属元素であり、延性のある灰黒色の金属です。

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• 亜鉛（Zn）スパッタリングターゲット

  亜鉛スパッタリングターゲットは、その原料と同じ特性を持っています。亜鉛は、記号 Zn、原子番号 30 の化学元素です。銀白色の青みがかった金属で、室温では脆く、100 ～ 150 度では柔らかくなり、200 度を超えると再び乾燥します。

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• ジルコニウム（Zr）スパッタリングターゲット

  ジルコニウムスパッタリングターゲットは、その原料と同じ特性を持ちます。密度は6.49g/cc、融点は1852度、蒸気圧は1987度で10 -4 Torrです。

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• ルテチウム（Lu）スパッタリングターゲット

  ルテチウムスパッタリングターゲットは、高純度のルテチウム（Lu）金属で作られた金属ターゲットです。融点は1663度、沸点は3395度、密度は9.84g/cm3です。

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