イッテルビウム（Yb）スパッタリングターゲット

イッテルビウムスパッタリングターゲットは、高純度のイッテルビウム（Yb）金属で作られた金属ターゲットです。融点は824度、沸点は1193度、密度は6.965g/cm3です。

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イッテルビウムは柔らかく、展性があり、延性のある化学元素で、純粋な状態では明るい銀色の光沢を示します。これは希土類元素であり、強い鉱酸によって容易に溶解します。冷水とゆっくりと反応し、空気中でゆっくりと酸化します。

近年、メタルゲート材料やHigh-k材料などの電子材料として利用する研究開発が進められており、注目されている金属である。