パラジウム（Pd）スパッタリングターゲット

パラジウムスパッタリングターゲットは、その原材料に共通の特性を持っています。パラジウムは、ロジウム、ルテニウム、オスミウム、イリジウム、プラチナとともに、白金族金属と呼ばれる元素群を形成します。パラジウムは、プラチナに似た柔らかい銀白色の金属です。白金族金属の中で最も密度が低く、融点が最も低いです。焼きなましすると柔らかく延性があり、冷間加工すると強度と硬度が大幅に増加します。面心立方結晶構造を持ち、常温では空気中の腐食や酸の作用に強い耐性があります。高温の酸には侵され、王水に溶解します。多くの化合物やいくつかの錯塩を形成します。パラジウムは水素を吸収する能力が非常に高く (最大で自身の体積の 900 倍)、

パラジウムは耐腐食性があるため、主に低電圧電気接点に使用される合金に使用されています。細かく分割するとパラジウムは優れた触媒となり、水素化反応や脱水素化反応を加速するために使用されます。

パラジウムは、「ホワイト ゴールド」と呼ばれる特定の合金として、ジュエリー製造に広く使用されています。プラチナと合金にしたり、プラチナの代わりに使用したりすることもできます。時計の軸受け、バネ、テンプ、科学機器のミラーにも使用されています。

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